Полупроводник нагнетал УЛЬТРАФИОЛЕТОВУЮ машину 355nm утески лазера охлаженное воздухом

Машина утески лазера для датчика

1.Summary

Машина CO. технологии Ухань Questt АЗИИ, Ltd. утески сопротивления лазера специально развита и произведена для индустрии цепи плотной пленки и цепи тонкого фильма. Уравновешивать источника (регулировка сопротивления) и активная утеска (регулировка функции цепи) главным образом использованы для высокоточной утески тонкопленочного, толстопленочные, гибридные интегральные схемаы и различные электронные модули, включая следующие индустрии:

l lAutomotive электроника

l lSensors

l электроника lCommunication

l lMilitary индустрия в научном исследовании

l lMedical

l lIndustrial электроника

l lAerospace

Сопротивление лазера уравновешивая машины произведенные нашей компанией независимо начато от системы управления измерения ядра, программной системы, etc., и имеет все независимые права интеллектуальной собственности, которые могут обеспечить клиентов со всесторонними решениями применения утески сопротивления лазера.

2. образец техники и представление

Машина утески сопротивления лазера серии LT7 лидирующий тип машина конфигурации утески сопротивления лазера запущенная Ухань Questt. Продукты серии LT7 принимают предварительный особенный лазер для утески сопротивления лазера.

Высокая точность регулировки сопротивления

• Вся машина имеет высокоомную точность регулировки, и точность регулировки сопротивления последовательна и выход высок.
• lLT7 использует особенный лазер для утески сопротивления лазера, которая обеспечивает лазерный луч с качеством высокого луча и весьма шириной тонкой линии, и влияние жары лазера небольшое.
• режим контроля точности lUnique, собственническая технология минирования переменной скорости.
• разнообразие Ла сопротивлени-регулируя типа нож режа функций.

Быстрая регулировка сопротивления

• Программное обеспечение имеет функцию установки грубой настройки и прецизионной установки, которая может установить пропорциональное отношение между грубой настройкой и прецизионной установкой согласно характеристикам сопротивления, которое эффектно улучшает скорость регулировки сопротивления под предпосылкой обеспечения точности.
• время измерения lHigh-скорости, одиночное время измерения только 25us.
• механизм шаг-и-повторения lHigh-точности: используя платформу линейного мотора, двигая скорость и ускорение быстры; она может осуществить регулировку сопротивления одн-цикла множественных цепей блока.
• подъем доски зонда lHigh-скорости: эффектно улучшите обрабатывая эффективность в процессе циклической регулировки сопротивления множественных цепей блока.

Сильная функция

• lWith сильная функция программирования в индустрии, оно может приспособиться к различной регулировке сопротивления и регулировке функции электронных модулей, и легко осуществляет особенные потребности клиентов и высокой автоматической деятельности.
• добавление lIn к основному измерению сопротивления и напряжения тока, с внешними особенными модулями, сигнал измерения может быть настоящее, частоты, завороты и другое сигналы.
• l программируемый режим автоматического управления силы лазера, движения, ряда измерения, etc. можно осуществить.
• Z-ось lProbe, движение управлением мотора Z-оси фокуса лазера автоматическое, programmable.
• lPowerful функция базы данных, весь производственный процесс записана и traceable.
• функция lThe предупреждая неправомочных продуктов может эффектно предотвратить неправомочные продукты от пропускать в следующий процесс.
• координаты lThe располагая получены в реальное временя через изображение, которое легко для того чтобы работать и улучшает располагая точность продукта.

Высокие надежность и стабильность

• Компоненты ядра импортированы для обеспечения качества
• lUsing особенный постамент гранита: Он может эффектно уменьшить инерциальную вибрацию причиненную началом, стопом и ускорением верстака; в то же время, он может поддерживать стабильность температуры машины.

Низкие работать и расходы на техническое обслуживание

• Высокая эффективность, низкое энергопотребление и экономия на затратах

Эффективность преобразования лазера электрооптическая достигает 25%, и расход энергии среднего ежедневный чем 10 градусов, которое 1/10 из традиционной импульсной лампы освещения нагнетали твердотельный лазер. Долгосрочная польза может сохранить потребителей много расходование энергии, уменьшить выбросы углерода, длинный срок службы, конюшню высокой эффективности и не требующее ухода, уменьшающ время простоя.

3. решение триммера лазера

• Принцип утески сопротивления лазера

Принцип утески сопротивления лазера использовать очень точный лазерный луч для того чтобы ударить резисторы толстого и тонкого фильма, и осуществляет вырезывание цепей толстого и тонкого фильма путем испарять тело резистора. Лазерный луч режет резисторы толстого и тонкого фильма согласно программе предопределенной компьютером, и изменяет значение сопротивления резисторов путем изменение геометрических форм резисторов толстого и тонкого фильма. По мере того как процесс вырезывания лазера развивает, цепь в реальном времени измерения контролирует изменения в значениях сопротивления резисторов толстого и тонкого фильма в реальное временя, и значения сопротивления резисторов толстого и тонкого фильма постоянн причаливают значению сопротивления цели. То есть, процесс утески сопротивления лазера осуществлен.

Когда резистор плотной пленки будет использован в электронном модуле, изменение функции электронного модуля сможет быть осуществлено путем регулировать изменение сопротивления так, что выходной сигнал электронных изменений модуля также.

Утеска сопротивления лазера изменяет проводную площадь поперечного сечения и проводную длину тела резистора, и может уравновесить тело резистора под значением сопротивления цели к необходимому ряду точности.

Чертеж плана оборудования (вопрос к фактическому объекту)

система (1).Laser

Использованный для того чтобы отрезать резисторы толстого и тонкого фильма, это «светлый нож» для вырезывания резистора. Эта машина принимает предварительный особенный лазер для регулировки сопротивления лазера, с хорошим качеством луча, высокой пиковой силой и превосходным качеством взреза. Небольшой и компактный, с воздушным охлаждением, с высокой эффективностью и надежностью не нашл в других лазерах. Импортированы источник насоса прибора ядра, переключатель кристаллических, q, etc. все.

Особенный лазер для утески сопротивления лазера

(2). Система позиционирования лазерного луча

Оно использовано для того чтобы осуществить располагать лазерного луча и контроль следа движения (режа путь). Примите систему гальванометра точности. Контролирует положение луча в направлениях x и y. Сократите время юстировки пучка и точность время уравновешивать, высокая эффективность работы, быстрый ход и высокая.

Galvo точности

система позиционирования изображения (3).CCD

Отображать система с преданными объективом и CCD. Технология обработки изображения лазера коаксиальная использована для обеспечения что пункт цели лазера и отображая пункт цели перекрываются внутри ряд лазера просматривая.

Импортированное программное обеспечение опознавания изображения использовано для того чтобы достигнуть автоматического изображения располагая через соответствовать изображения.

платформа движения (4).Step-and-repeat механическая

Импортированная система линейного мотора точности принята, и скрежеща правитель контролируемый короткозамкнутый виток. Точность движения высока и скорость быстро, которая значительно улучшает ускорение движения. Она может осуществить удобную загрузку и разгружать, и высокоскоростную циклическую регулировку сопротивления множественных цепей блока, которая значительно улучшает эффективность продукции. Отличает высокоскоростной и высокой точностью.

система (5).measuring

Измерение сопротивления принимает метод четырехпроводной системы плюс настоящее измерение и измерение напряжения тока. Оно имеет множественные высокоточные источники постоянного настоящие, и соответствуя ряду каждого сопротивления можно автоматически соответствовать для того чтобы получить самую лучшую точность измерения. Измерение сопротивления зонды следующих зондов особенные для доски паять использован для измерения. Измерительная система может автоматически быть откалибрирована внешней доской стандартного сопротивления. Опционный интерфейс GPIB для внешних управления или измерения аппаратуры.

Электронная регулировка функции модуля вообще обеспечивает особенные методы измерения зонда для характеристик продукта.

система наводки на резкость (6).Laser

Фокусное расстояние лазера непосредственно управлени компьютером. Путем устанавливать фокусное расстояние нул пунктов и inputting толщина workpiece, фокус можно автоматически осуществить. Эта функция может осуществить регулировку сопротивления разных видов продуктов резистора плотной пленки, которая улучшает ряд применения и эффективность машины регулировки сопротивления лазера.

движение (7).Probe

Контролируют движение зонда высокоскоростным мотором, идущее расстояние может быть установило произвольно, и программируя функцию управления можно осуществить.

система (8).Software

· Сильное прикладное обеспечение основанное на платформе WINDOWS.

·С сильной функцией программирования в индустрии, он может приспособиться к различной регулировке сопротивления и регулировке функции электронных модулей, и легко осуществляет особенные потребности клиентов и высокой автоматической деятельности.

·Сильная функция базы данных, весь производственный процесс записана и traceable.

·Программное обеспечение неправомочных продуктов изменяет цвет и выделяет проворную функцию, которая может эффектно предотвратить неправомочные продукты от пропускать в следующий процесс.

·Располагая координаты получены в реальное временя через изображение, которое легко для того чтобы работать и улучшает располагая точность продукта.

·Многофункциональная платформа измерения может быть осуществлена путем программирование, и она имеет функцию измерения и сортировать сопротивления.

конфигурация 4.Main одиночного прибора

4. технический параметр

система 1.Laser

• длина волны lLaser: 1064nm
• сила лазера lAverage: 6W@10KHZ (TEM00)
• lTypical размер места: 30-40µm
• режим lFocus: управление компьютерной программы

система юстировки пучка 2.Laser

• ряд lLaser просматривая: 60mm x 60mm
• lRepeat располагая точность: 2.5µm
• lLaser испускает лучи разрешение движения: 1µm
• скорость развертки lMaximum: 7000mm/s
• lPositioning метод: programmable располагать или располагать опознавания изображения автоматический

3. Система охраны изображения

• lMonitoring метод: контроль лазера коаксиальный
• lProprietary технология: ахроматическая технология, лазер и перекрытие отображать в пределах формата
• lMonitoring область видимости: 4-6mm (диагональ)
• lLighting источник: Освещение СИД

4. измеряя система

• метод измерения lResistance: добавьте настоящий для того чтобы измерить напряжение тока

Четырехпроводная система, двухпроводное управление компьютерной программы системы

• режим измерения lResistance: установка режима 3-скорости, programmable контроль
• ряд измерения lResistance: 0.1Ω-100MΩ (разрешение 16bit)
• точность измерения lResistance:

0.1Ω< Rx="">

100Ω< Rx="">

100KΩ< Rx="">

• l скорость измерения сопротивления: 25µs
• разрешение напряжения тока lDC: 0.16µV (под в натуральную величину состоянием 10mV)
• доска lProbe: 48PIN, любое определение, совместимое с ESI импортировало оборудование
• движение доски lProbe: управление компьютерной программы
• ряд измерения lVoltage: разрешение ±100mV~ ±10V 16bit (другие ряды опционные)

5. Компьютеры и программные системы

• lSoftware programmable, может гибко осуществить автоматическую деятельность, встретить регулировку сопротивления и регулировку функции цепи
• функции lDatabase, все данные по регулировки сопротивления можно написать в базу данных для хранения, с хорошим traceability
• сопротивление lThe может быть проконтролировано ручным управлением одно-обломока, и оно может также автоматически быть отрегулировано непрерывной матрицей (непрерывной обработкой обломока)
• регулировка сопротивления lAccurate может быть выполнена путем устанавливать метод регулировки сопротивления точки лазера
• lAccording к разнице начального значения сопротивления, различные параметры регулировки сопротивления можно выбрать для того чтобы выполнить регулировку сопротивления

6. система движения Шаг-и-повторения механическая

• режим lMovement: система движения линейного мотора
• ряд lMotion: 300mm*300mm
• размер субстрата lMaximum керамический: 150mm*150mm
• разрешение lMotion: 1µm
• точность lRepeat: ±1µm
• lPositioning точность: ±10µm
• скорость lMaximum: 1000mm/s (нулевая нагрузка)
• ускорение lMotion: 1.5G

7. Другие технические индикаторы

• lCooling метод: воздушное охлаждение
• подача напряжения lPower: воздушное давление AC 220V: <0>